标准号：GB/T 16942-2009

中文标准名称：电子工业用气体 氢

英文标准名称：Hydrogen for electronic industry

标准状态：现行

本标准代替GB/T16942-1997《电子工业用气体氢》。本标准与GB/T16942-1997相比主要变化如下:

--修改电子工业用氢的适用范围(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章):

--修改规范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章); --修改技术指标内容(GB/T16942-1997的第3章,本版的第3章);

--修改电子工业用氢抽样规则(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2): --修改电子工业用氢采样要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的41.3);

--修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3); --修改总烃分析方法的检测限(16942-1997的4.7,本版的4.5); --修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);

-修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章):

---增加规范性附录A，并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氢中的氮、一氧化碳、二氧

化碳组分的方法写人该附录(见附录A)。本标准的附录 A为规范性附录。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。

本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。

本标准所代替标准的历次版本发布情况为: -GB/T16942-1997